二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Mesa II #293823495 待售
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ID: 293823495
Polysilicon etcher
Mainframe
(8) Chambers
(6) MESA2 Process chambers
(2) Strip auxiliary chambers
Application: Titanium nitride deposition.
AMAT/APPLIED MATERIALS MESA II，又稱蝕刻器/asher，是一種前沿的半導體加工工具，設計用於在高性能電子器件的制造中執行關鍵功能。屬於等離子體蝕刻器家族，在半導體工業中廣泛用於半導體晶片上薄膜的精密和受控蝕刻。AMAT MESA II設備的核心是一個高密度等離子體室，利用反應性氣體和射頻能量的組合，從晶圓表面選擇性蝕刻或灰分材料。這個過程的主要目的是在晶圓上定義錯綜復雜的模式和結構，構成電子電路和器件的基礎。APPLIED MATERIALS MESA II系統具有先進的技術和創新的設計元素,有助於其高性能和可靠性。一個關鍵特征是使用雙頻射頻源，它可以精確控制等離子體特性並增強過程靈活性。這使設備能夠實現更好的蝕刻速率、均勻性和選擇性,從而提高設備性能和產量。Mesa II機的另一個重要方面是其精密的氣體輸送工具，確保精確控制過程中使用的反應性氣體的流量和混合比。這使資產能夠根據特定的工藝要求量身定制等離子體化學,從而實現優化的蝕刻輪廓和最小的側壁損壞。為了進一步加強過程控制和可重復性，AMAT/APPLIED MATERIALS Mesa II模型配備了先進的端點檢測能力。這使設備能夠實時準確監控蝕刻過程的進度，並在達到所需蝕刻深度或端點後可靠地終止該過程。除蝕刻能力外，AMAT Mesa II系統還具有asher功能，用於從晶圓表面去除光刻膠和其他有機材料。這是半導體制造過程中的關鍵步驟，因為它為隨後的處理步驟，如沈積和離子植入準備晶片。APPLIED MATERIALS MESA II單元的設計考慮到易於使用和維護,具有用戶友好的界面和堅固的結構。它還提供高級流程監視和診斷功能,使操作員能夠快速識別和診斷處理過程中可能出現的任何問題。總體而言,Mesa II 蝕刻器/asher代表了一種最先進的半導體制造商解決方案,旨在實現精確可靠的高性能蝕刻和灰化工藝。它具有先進的功能、創新的設計和卓越的工藝控制功能,使其成為在競爭激烈的半導體市場上生產尖端電子設備和確保高設備產量的重要工具。
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