二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Metal chamber for Centura DPS II 532 #293665695 待售

用於Centura DPS II 532的AMAT/APPLIED MATERIALS金屬室（一種蝕刻器/asher）為半導體和MEMS器件的制造提供精確和可重復的工藝控制以及精密蝕刻和粉刷。該腔室由三層粘合不銹鋼組件構成，以堅固耐用的方式提供優異的耐腐蝕性能和熱調節，在長時間的使用中具有良好的重復性能。該腔室容積為5.32升（1.4加侖），運行溫度高達230攝氏度（446華氏度）。該室采用創新的三室重叠蓋設計，為用戶提供性能、精度和耐用性無與倫比的組合。重叠的蓋子確保了工藝參數的均勻分布，同時為改進熱控制和均勻性提供了更大的工藝空間。Centura DPS II 532腔室具有電子流量控制、溫度、壓力、流量均勻性、氣體凈化以及風扇速度和移位設置,用於監控和控制過程。此外,該腔室還提供精確的等離子體均勻性和加工端點均勻性.該室還有一個集成的石英側罩，一個慣性驅動快門，過程氣體流動和控制排氣，並且能夠高壁和低壁功率傳遞。Centura DPS II 532還擁有先進的等離子體控制技術，可編程用於放熱和吸熱過程控制，提供最佳晶圓均勻性和可重復性。先進的等離子體控制提高了吞吐量，同時能夠保持低蝕刻率和高吞吐量。除了先進的等離子體控制外，Centura DPS II 532還具有多層的碳氟化合物密封系統，可確保環境超壓，防止任何酸性氣氛進出腔室。這提供了出色的過程穩定性和一致性。Centura DPS II 532旨在滿足半導體、MEMS和制造市場不斷變化的需求。Centura DPS II 532從抗蝕條、薄膜蝕刻/灰分和鈍化到圖案化和高寬高比蝕刻/灰分,提供了精確和可重復性,以確保最高質量和一致的最終產品。