二手 AMAT / APPLIED MATERIALS / MKS DPS II AE Minos #9399337 待售
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AMAT/APPLICED MATERIALS/MKS DPS II AE Minos是一種最先進的蝕刻機/asher設備，常用於從各種基板製造高精度結構。利用先進的多室低壓脈沖感應耦合等離子體源，能夠以高精度和高精度進行蝕刻和灰化。該系統能夠對2 μ m以下的小特性進行蝕刻,並采用先進的高RL電離蝕刻填充工藝,以確保達到最高精度。MKS DPS II AE Minos具有可配置的工藝室、大視口和一組RF分頻器，可在整個晶圓表面提供均勻蝕刻。該裝置的感應耦合等離子體源采用低壓脈沖操作來優化蝕刻參數，同時最大限度地減少危險等離子體和副產物。高RL ICP光源具有2 μ m的等離子體蝕刻特性，可提供前緣精度和精度。AMAT DPS II AE Minos還提供了獨特的、感應耦合等離子體（ICP）蝕刻填充工藝。此過程優化蝕刻參數,以提供高RL蝕刻輪廓和精確的特征控制。蝕刻填充過程可確保蝕刻過程中晶片表面的均勻性和一致性。此外,此計算機還提供了一個用戶友好、可靠且用途廣泛的軟件包,可輕松控制流程。此軟件包包括DPS 2.0 Process Control Tool,它包括配方開發和控制、機器硬件診斷和狀態以及性能監控和報告功能。該資產進一步得到MKS全球服務和支持模式的支持。最後,APPLIED MATERIALS DPS II AE Minos提供了一系列通用的晶圓處理和傳輸功能。該設備設計為在單個傳輸系統內處理6"、8"和12"晶片，在需求變化時提供了極致的靈活性和便利。總之，DPS II AE Minos是一種先進的蝕刻器/asher單元，能夠以高度的精度和精確度處理晶片。這臺機器功能齊全,集成了一個用戶友好的軟件包,用於過程控制和優化,並提供了一系列通用的晶圓處理和傳輸功能。
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