二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Omega #168263 待售

ID: 168263
Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS Omega Etch/Asher是一種高性能的等離子體蝕刻器/Asher設備,廣泛用於需要嚴格控制工藝時間和溫度的各種蝕刻和灰化應用。AMAT Omega由於其先進的技術,包括微處理器控制的系統和專門的過程測量和監控,對產品的變化作出了迅速而可靠的響應,從而提供了出色的過程控制。APPLIED MATERIALS Omega將蝕刻和灰化功能結合到一個可以同時處理兩種類型的過程的單一工具中。它配備了一個可編程的電源和一個獨立的等離子體產生室。電源提供從引入腔室的過程氣體中產生等離子體所需的電力。為了確保在加工過程中有足夠的溫度和壓力控制,歐米茄配備了先進的精密溫度補償系統。AMAT/APPLIED MATERIALS Omega由於通過等離子體限制實現了先進的氣體分配,提供了卓越的蝕刻和灰化精度和可重復性。工藝控制單元的設計是通過提供精確的功率作為時間和溫度的函數來優化蝕刻/灰分工藝。此外,先進的專利蝕刻/灰室技術可確保廣泛的基材得到有效加工,不會造成任何類型的損壞。AMAT Omega提供了多種功能,例如配方開發工具、自動化過程調整以及對蝕刻/灰分過程的強大分析,以快速識別故障和異常,同時提供詳細的過程信息和結果。此外,其先進的用戶界面使APPLIED MATERIALS Omega成為一臺用戶友好的機器,提供了對過程參數的輕松訪問,並允許操作員快速修改操作條件。通過將精度、速度和可靠性相結合,Omega Etch/Asher工具是尋求提高流程性能和確保性能質量的客戶的理想選擇。AMAT/APPLIED MATERIALS Omega憑借其出色的工藝控制、先進的等離子體生成能力和寬敞的腔室設計,非常適合高端蝕刻和灰化應用。
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