二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark I #9411663 待售

ID: 9411663
晶圓大小: 6"
優質的: 1996
Metal etcher, 6" 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I是專門為滿足半導體制造行業需求而設計的蝕刻器/asher。這個特殊的模型是用一個金屬壓板和一個液氮冷卻卡盤構建的,以提高工藝的均勻性,提高效率,並且比其他蝕刻器提高精度。AMAT P5000 Mark I是一種多區域蝕刻器/asher,具有單一負載設備,可提高均勻性和吞吐量。這種設備既能進行幹蝕刻,又能進行濕灰化。此外,應用材料P5000 Mark I被設計為即使在沈積過程中發生的溫度波動也能提供恒定的均勻性。P5000 Mark I為制造應用程序提供了一組高級功能。這包括一個高精度的三軸運動控制系統,允許它以高達1 μ m的精度控制高達500 mm/s的運動。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I能夠執行各種沈積過程,如CVD、PECVD和ALD。AMAT P5000 Mark I還可以精確控制過程變量,如溫度、壓力和流量。此外,APPLIED MATERIALS P5000 Mark I具有很高的準確性和效率。該模型采用三級過濾裝置,確保過濾過程中產生的所有顆粒和煙霧,以防止任何汙染。該單元隨後配備多個現場實時監控系統,用於參數的實時校正和過程控制。此外,P5000 Mark I非常耐用且易於維護。該裝置采用耐腐蝕玻璃內飾和環氧基氣閘設計,便於取用和清潔。這種蝕刻器/asher能夠在高溫下連續運行,並以安全可靠的方式持續產生結果。總體而言,AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I 蝕刻器/asher是一種先進且精密的制造設備。其多區設計、精密三軸運動控制機、先進的原位監控工具、可靠的溫壓控制能力使其可靠高效。這些特性使AMAT P5000 Mark I成為半導體制造行業的絕佳選擇。
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