二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP+ #293615042 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP+是利用脈沖連續載荷鎖定（PCL）、閃光燈退火（FLA）和3D掃描工藝制造先進電子設備的多室反應堆系統。它還提供了對處理參數的輕松訪問,並支持多個並行過程步驟。AMAT P5000 MxP+具有42 cm x 24 cm的PCL,可用於高溫和超凈過程的快速底物裝卸。它利用內置的負載端口和車載微控制器進行精確的過程控制，以便在基板處理過程中嚴格控制氧氣和水分。閃光燈退火（Flash Lamp Anneal，FLA）使用光能的超短脈沖提供高能退火，而無需外部加熱基板。這一過程允許對溫度、退火時間和能量擴散等關鍵過程參數的嚴格公差，同時保持良好的自對準控制。3D掃描過程提供了基板表面的高分辨率二維成像。它能夠使用近紅外相機進行精確的3D曲面映射,這有助於快速識別缺陷、分析輪廓和測量特征。這允許更高效的工藝開發和底物表征。APPLIED MATERIALS P5000 MxP+配備了支持電子配方轉移、爐控制、腔室監控、生產跟蹤和數據記錄的軟件。這允許流程自動化和對關鍵流程參數的實時控制。此外,數字觸摸屏系統可通過單步操作輕松訪問流程參數。這樣可以確保快速、準確和精確的處理。P5000 MxP+是一種先進的多室反應堆系統，旨在為先進的設備制造提供精確的控制。Flash Lamp Anneal技術、3D掃描過程和用戶友好的軟件，適用於研究和工業環境。