二手 AMAT / APPLIED MATERIALS PE-8330 #9148218 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS PE-8330是一種用於在集成電路和其他微電子元件上沈積薄膜電介質的蝕刻器/asher。該設備能夠在最短的時間內以精確和精確的方式蝕刻各種薄膜和材料。該工具占地200毫米x 490毫米,為生產線集成提供了一個緊湊的解決方案。AMAT PE-8330利用反應性離子蝕刻（RIE）和感應耦合等離子體反應性離子蝕刻（ICP）來獲得廣泛的結果。RIE模式用於電介質的精密蝕刻，蝕刻選擇性低至2：1，以獲得最佳膜厚度均勻性。ICP過程提高蝕刻速度,同時保持高度控制。APPLIED MATERIALS PE-8330室具有獨特的無人駕駛自動調平平臺，機械不均勻度小於0.15 MM。無驅動器設計允許連續的過程可重復性,而不會誤載部件。此外，該工具還具有低應力的工藝環境，具有一托室壓力和高達45千瓦的射頻功率。PE-8330的控制器是具有多種數據顯示模式的獨特過程監控器，允許操作員實時觀察蝕刻過程。控制器能夠存儲多達700種用於過程控制、跟蹤和自動優化的配方。該系統提供了快速可靠的蝕刻,同時還確保了安全的工藝環境。AMAT/APPLIED MATERIALS PE-8330是一個高度可靠的單元,行業領先的正常運行時間超過90%。即使在各種條件下，包括高溫和低負載過程下，該工具也是為連續使用而設計的。堅固的設計還確保了最低限度的維護要求和較低的擁有成本。總體而言,AMAT PE-8330 蝕刻器/asher是一種易於使用的機器,可提供快速準確的蝕刻結果。該工具專為自動化生產而設計，能夠以精密和高通量蝕刻各種材料。憑借其先進的功能,APPLIED MATERIALS PE-8330提供了可靠的蝕刻解決方案,可確保過程可重復性和最低維護要求。