二手 AMAT / APPLIED MATERIALS PVD HTHU #179312 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS PVD HTHU是一種在真空環境中用於薄膜沈積和其他表面修改的蝕刻器/灰化器。該設備專門設計用於高精度基板加工，如蝕刻和灰化、薄膜沈積、氧化層沈積和IC器件鈍化。AMAT PVD HTHU系統由蝕刻或灰化室和真空單元兩個主要部件組成。蝕刻或灰化室是一種不銹鋼外殼，裏面裝有加工氣體、基材和其他加工設備。其設計支持高溫基板加工，符合潔凈室和安全合規性標準。真空機用於調節氣體通過蝕刻/灰化室的壓力和流量。它由真空泵、壓力傳感器和用於壓力控制的閥門組成。APPLICED MATERIALS PVD HTHU利用一種稱為混合熱過程（HTHU）的獨特技術來沈積或蝕刻薄膜和其他材料。在這個過程中，熱和等離子體的組合被用來沈積或蝕刻薄膜。基板被加熱到接近熔化的溫度，同時產生等離子體，這進一步有助於在基板表面上蝕刻或形成薄膜。此過程重復多次以創建所需的屬性。產生的薄膜或圖樣非常薄且控制精確。PVD HTHU也可用於其他基板表面修飾，如氧化物層沈積、鈍化和粘附。這些過程都在同一個真空工具的同一個蝕刻/灰化室中進行。這為許多設備制造過程提供了集成且有效的表面修改。AMAT/APPLIED MATERIALS PVD HTHU是一種先進的蝕刻/灰化資產,為現代晶圓廠環境提供精確可靠的基材處理。它設計用於高精度加工，可用於多種基材，可用於各種薄膜沈積和其他表面修改。AMAT PVD HTHU是許多設備制造過程中必不可少的蝕刻/灰化模型。