二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Tetra #293633171 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Tetra是一款最先進的蝕刻器/asher,旨在提供卓越的效果。該設備集成了四種不同的工藝，旨在實現各種材料的高速蝕刻和灰化。AMAT Tetra結合了等離子體蝕刻、RIE（反應性離子蝕刻）和ashing、O2蝕刻和ashing，以及濕蝕刻和ashing。這個先進的系統能夠同時進行表面和深度蝕刻，提供靈活和高效的處理能力。應用材料Tetra利用先進的PECVD（等離子體增強化學氣相沈積）工藝對表面材料進行蝕刻和灰化。這種裝置能夠在低溫和低壓下進行蝕刻和灰化，產生優異的工藝效果。Tetra旨在實現極快的處理時間,為用戶提供無與倫比的吞吐量和數據采集速率。本機效率高，材料利用率高，運行成本極低。AMAT/APPLIED MATERIALS Tetra還提供了一種先進的反應性離子蝕刻器/灰化器，其基礎是使用氧氣、NF3、CHF3和Ar等各種氣體的蝕刻/灰化工藝。此工具旨在提供跨多個表面的極其均勻的蝕刻,以及對蝕刻深度和選擇性的極其精確的控制。AMAT Tetra還支持濕蝕刻和灰化,從而提高了大型應用中的生產率。這一資產使用戶能夠比傳統的濕處理更快地實現蝕刻速率,減少周期時間,並為用戶提供卓越的效果。APPLIED MATERIALS Tetra提供一系列自動化和過程控制選項,以確保最大程度的靈活性和效率。該模型旨在提供卓越的工藝重復性和可靠性，並與現有的物理和化學工藝室兼容。Tetra還提供了一個綜合密室關閉設備，可提高安全和操作能力，而無需額外的安全殼。AMAT/APPLIED MATERIALS Tetra是一個高級系統,旨在提供卓越的蝕刻/灰化性能。本單元結合等離子體蝕刻、RIE、O2蝕刻、濕蝕刻和灰化四種不同工藝，為用戶提供卓越的工藝效果。這臺機器能夠在低溫和低壓下進行表面和深度蝕刻，具有出色的工藝重復性和可靠性。AMAT Tetra還提供靈活的自動化和過程控制選項，以及用於增強安全和操作的集成腔室關閉工具。