二手 AMAT / APPLIED MATERIALS WC MCA #179308 待售
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ID: 179308
Chamber
Watercooled Chamber body
Adapter: 0040-02428
G12 Source Assy
AC Box: 0010-22242
2 Position Gate Valve
2 Phase Cryo Pump
Motorized Lift: 0010-13235
Magnet: 0010-01198.
AMAT/APPLIED MATERIALS WC MCA是專門為晶圓制造而設計的組合蝕刻器/asher。它被設計為快速蝕刻和粉刷選定的材料,去除特定的區域和保持芯片的其余部分完整。配備了集成真空設備,MCA能夠在蝕刻過程中去除顆粒或不需要的殘留物,進一步提高了工藝的精度和速度。此外,MCA還配備了強大的電源管理系統,用於控制和調節蝕刻時間,最大限度地減少能耗,最大限度地提高吞吐量。MCA有多種蝕刻應用,從需要幹蝕刻溶液的深蝕刻,到切割特定材料層和淺溝的淺蝕刻溶液。這樣可以精確控制過程,為最終用戶提供高效和高度精確的蝕刻結果。MCA還具有溫度控制功能,允許對蝕刻溶液進行精確的溫度控制,消除液體蒸發的影響,支持一致的蝕刻速率。額定功率為200-300瓦,此蝕刻/酸痛裝置的占地面積為24英寸x 24英寸,高度為32英寸。MCA設計易於集成到自動晶圓制造系統中,可用於串行或並行過程配置。MCA的占地面積小,非常適合用於小型制造設施,其外形尺寸小,意味著它可以安裝在狹窄的空間中。MCA還具有兩個晶片盒式磁帶,這意味著它可以每批蝕刻多達30個晶片,允許大批量生產。MCA的控制機可精確控制蝕刻過程,防止蝕刻參數不一致造成「蝕刻過沖」。此外,該工具還提供了高級流程監視和數據收集功能,允許用戶存儲可重復流程的配方,或者在出現問題時存儲用於分析的調試信息。所有這些都是關於準確性和吞吐量的,AMAT WC MCA提供了。MCA具有可靠、精確的蝕刻和灰化解決方案,能耗低,通量大,非常適合晶圓制造設施,希望提高生產效率和整體成本效益。
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