二手 AMS 602 #293608576 待售

AMS 602是一種反應性離子蝕刻器（RIE），用於硬質材料的深度蝕刻和剖析。它旨在實現卓越的流程重復性和高流程吞吐量。它具有高度的過程控制和穩定的條件，即使在高通量的應用中也是如此。602是一種高壓設備，最大偏壓為1.5 Torr（1.5 × 10−3 mbar）。這確保了該過程是高度可重復的，並且離子能量不會受到壓力波動的不利影響。AMS 602配備了雙陽極型陰極，使其在保持高工藝可重復性的同時實現了較高的蝕刻速率。雙電極能夠提供對離子電流、氣流和偏壓的獨立控制，使得在選擇蝕刻配方時可以考慮廣泛的工藝參數。該系統還能夠提供對蝕刻選擇性和表面粗糙度的高度控制。高水平的蝕刻選擇性對於實現高質量的蝕刻輪廓非常重要,而較低的表面粗糙度可最大程度地減少過度蝕刻造成的材料損失。602能夠通過使用專門的蝕刻配方以及在蝕刻氣體中添加摻雜劑和其他材料來提供這種水平的控制。AMS 602配備了集成水冷裝置，使其能夠實現高工藝速度。冷卻機還有助於保持冷卻器和刀具部件在安全的工作溫度下，確保高度的可靠性。水冷資產旨在經濟高效地冷卻蝕刻室，從而優化工藝速度、重復性和質量。總體而言,602是一種先進的反應性離子蝕刻器（RIE）,用於硬質材料的深度蝕刻和剖析時,可提供出色的蝕刻速率、工藝重復性和優異的效果。它結合了過程控制、高蝕刻速率和可靠的水冷,即使在高通量應用中也能確保優異的效果。