二手 ANATECH P600 #9155507 待售

ANATECH P600是用於半導體、薄膜集成電路和其他微電子元件的高級蝕刻器/粉碎器。它是一個單一腔室的模型，擁有強大和多用途的工藝能力。此蝕刻器/asher的溫度範圍為-150至300 °C,可快速制造高縱橫比為1：10或更高的超精細特性。其不銹鋼室容積為480升，並配有六個500W加熱器電源，用於均勻的溫度分配。其風扇冷卻的加熱器元件在灰化過程中提供均勻的加熱。此外，P600 蝕刻器/asher利用射頻等離子體源來高效和經濟地清潔和蝕刻材料表面。該模型能夠利用氧氣、氮氣、氙氣等幹燥氣體，創造出符合蝕刻應用要求的工藝環境。它有四個0到500瓦的射頻功率級別，允許它為不同的項目創造優化的工藝條件。ANATECH P600 蝕刻器/asher具有3.8英寸液晶界面,允許用戶設置和調整所有必要的參數,以便成功應用蝕刻和研磨工藝。這包括溫度、泵速、射頻功率、流量和其他特定於產品的參數。此外,用戶還可以監控工藝壓力、溫度和真空水平,以確保實現蝕刻和灰化所需的條件。該腔室配有一個泄漏探測器，使它能夠在過程開始前進行校正，以確保滿足完美的條件。P600 蝕刻器/asher具有強大的窗戶清潔系統，有助於提高樣品能見度和減少汙染。它還裝有石英晶體微平衡系統，可以監測各種工藝步驟的沈積速率。氮氣凈化系統有助於防止樣品氧化，水冷窗口提供防輻射熱量。蝕刻器/灰燼與許多不同的氣源兼容，使其成為許多準分子激光、等離子體、各向異性、定向能量沈積等應用的合適選擇。它的環保設計使其成為實驗室的理想選擇，因為實驗室的可持續性非常重要。ANATECH P600 蝕刻器/asher可靠、高效、易於使用,是任何微電子相關應用的絕佳解決方案。