二手 ANATECH / TECHNICS 600-Series #9123994 待售

ANATECH/TECHNICS 600-Series蝕刻器或灰燼機是專為蝕刻或灰化基板工藝而設計的通用加工系統。ANATECH 600-Series 蝕刻器/asher系統提供了最大的性能和靈活性,使即使是最復雜的設計的生產運行也能高效且可重現。該設備具有專有的1200W射頻發生器、石英等離子體室、可定制的工藝、快速簡便的配方編程、低壓控制以及其他高級功能。TECHNICS 600 SERIES系統能夠蝕刻多種材料，包括金屬、聚合物、玻璃、半導體和厚膜。該設備設計用於實驗室和生產運行,可調節的吞吐量範圍為每小時600晶圓。這是一臺Arch-Gap （AGAP）機器,它利用專有的「可調」等離子體間隙技術,以精確的重復性提供卓越的蝕刻性能。這樣就不需要昂貴的晶圓移動和麻煩的焦點控制。600系列工具還具有基於控制臺的直觀軟件,可提供直觀的操作員指導和控制。該軟件能夠控制配方設置、等離子體參數、基板運動、溫度控制、氣體和其他關鍵工藝參數。靈活的編程資產允許用戶快速上傳配方，並用不同的參數進行試驗，以產生最佳的結果。600-Series模型能夠在受控、安全的環境中使用各種蝕刻化學方法進行蝕刻和灰化。對於蝕刻應用，設備采用自動化的多氣體噴射系統，非常適合提高靈敏度、準確性和控制。該裝置還提供各種氣體清潔器和重組器，能夠精確控制蝕刻環境。除了蝕刻和灰化之外，TECHNICS 600-Series機還設計用於處理各種濺射過程。該工具與各種濺射目標和基板兼容，如金屬合金和矽層。其濺射過程控制功能使用戶能夠輕松獲得所需的沈積厚度和輪廓。ANATECH 600 SERIES資產提供了許多其他功能,包括容積室、自動視覺、亞微米晶圓分辨率和可選的雙烤箱盒式磁帶型號。這種先進的蝕刻器/asher設備是一個完整的交鑰匙解決方案,可最大限度地提高工作效率、靈活性和可重復性。