二手 ANATECH / TECHNICS SP150 Quartz #9249322 待售

ANATECH / TECHNICS SP150 Quartz
ID: 9249322
Descum plasma asher system.
ANATECH/TECHNICS SP150 Quartz是一個蝕刻器和asher.它是半導體工業用於矽加工的最先進的技術之一,非常適合廣泛的蝕刻、圖樣和沈積應用。ANATECH SP150 Quartz能夠以非常高的精度和精確度產生復雜的圖樣。這使得它成為前端工藝如光掩模生產和基材蝕刻的理想選擇。TECHNICS SP150 Quartz使用定向電離光束進行蝕刻。該光束由帶電粒子束柱引導,並通過動態光束控制熱電子生成。這樣可以使蝕刻過程非常精確和準確。梁的參數也是可調的,允許改進過程控制和靈活性。SP150 Quartz具有堅固的框架設計,適合高溫工藝。框架也是由高度耐用的不銹鋼製成,使其能抵抗氧化和腐蝕。該裝置還具有自動清潔和潤滑元件,減少了維護要求,並保持系統以最佳效率運行。ANATECH/TECHNICS SP150 Quartz還具有一個混合氣室,具有先進的氣流控制,提供對蝕刻過程的大氣控制。對環境的精確控制使得蝕刻能夠將不希望的材料沈積降到最低。它還包括一個串聯抑制劑蝕刻系統,減少了蝕刻過程中晶圓的損傷。ANATECH SP150 Quartz還與RIP兼容,RIP是一個功能強大的機器人集成平臺,可實現全自動蝕刻過程。RIP是大規模生產的關鍵組件,有助於提高吞吐量、提供卓越的質量和縮短周期時間。總體而言,TECHNICS SP150 Quartz是一種功能強大的蝕刻器和灰化器,能夠產生精確和準確的圖樣,且材料損失最小。其強大的車架設計、先進的氣流控制以及與RIP的兼容性,使其成為大批量生產的絕佳工具。
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