二手 ANTON PAAR HPA-S #293638236 待售

ANTON PAAR HPA-S Etcher/Asher是一種創新的、具有成本效益的蝕刻和金屬沈積設備,非常適合用於研究實驗室和其他應用。HPA-S系統結合了高功率的金屬蝕刻和沈積，精度和精確度都很高。該單元可以在多種基板（如矽、玻璃、陶瓷和金屬）上沈積高達幾微米厚的金屬層。憑借5軸機械臂和高分辨率精密靜電卡盤，ANTON PAAR HPA-S結合了精度、靈活性和性能。HPA-S具有低調的外形,腳印最小,設計適合各種空間。交鑰匙機由幾個部件組成，包括高精度蝕刻室和靜電卡盤。室內，利用氫氣和氮氣的受控氣氛進行蝕刻和沈積工作。內部組件是為可靠性、長期性能和最佳操作而量身定制的。高精度集成確保了出色的均勻性和精確的溫度控制,使用戶能夠在不改變材料結構和性能的情況下精確地步進、發現或掃描材料。ANTON PAAR HPA-S遵循將氫等離子體或氙等離子體與富氧等離子體（ORP）技術結合的原理。這使得機器在不同的基板上實現了非常高的蝕刻精度。作為蝕刻器，HPA-S能夠實現高分辨率和高蝕刻率，並產生極好的最終效果，最小濺射，以及更好的各向異性。而作為一個asher，它可以在大的零件和側面提供極好的均勻性。ANTON PAAR HPA-S設計用於半導體器件制造、封裝、MEMS和醫療植入物等應用。此外，HPA-S工具還配備了頂尖的軟件，使用戶能夠輕松快速地對他們想要的蝕刻和沈積過程進行編程。軟件對各種蝕刻參數進行調整，實時監控設備的效果，從而實現更快的工藝周期和更高的生產吞吐量。ANTON PAAR HPA-S也符合嚴格的安全和環境法規，因此用戶可以得到安全和負責任的操作保證。總而言之，HPA-S為蝕刻和金屬沈積提供了一個出色且用戶友好的解決方案。ANTON PAAR HPA-S結合了高性能和高精度的功能,是研究和工業應用不可或缺的工具。