二手 APS / ADVANCED PLASMA SYSTEMS B-Series #9390804 待售

APS/ADVANCED PLASMA SYSTEMS B系列是一款先進的蝕刻器/asher，專為廣泛的應用而設計，包括微電子、光電子和MEMS。APS B系列配備了多種先進的等離子體源，用於精確、精確地蝕刻基板。ADVANCED PLASMA SYSTEMS B系列具有真空室，能夠產生和控制所需的工藝壓力，以確保最佳的蝕刻工藝。可以利用內置的直流/射頻發生器實時監控和執行蝕刻過程,該發生器可精確控制等離子體源的能量,以滿足工藝需求。B系列還提供了一個獨特的氣體控制器，允許即時設置和監控氣流參數。APS/ADVANCED PLASMA SYSTEMS B系列裝載了安全功能，以確保用戶安全和設備保護。這些功能包括：中央真空泵，用於將腔室排空到安全的大氣中；高壓緊急中止按鈕，用於自動為等離子體源斷電，以防止意外損壞。APS B系列還采用了優化設計,以減少工藝或工藝帶來的任何潛在汙染。這包括一個防汙染系統，向室內註入少量氮，以防止任何潛在的基質汙染。ADVANCED PLASMA SYSTEMS B-Series設計為提供最佳蝕刻性能。等離子體源能夠以高精度和最小的損傷精細處理基板。由於B系列的靈活性，可以使用多種蝕刻技術：幹水表面加工、磁控管濺射和改性輝光放電。APS/ADVANCED PLASMA SYSTEMS B系列還具有同時執行RIE（反應性離子蝕刻）和RBO（反應性散裝氧化物蝕刻）技術的能力。執行兩種技術的能力允許更快的處理時間和更高的吞吐量。APS B系列是一款高級蝕刻器/asher,旨在實現蝕刻過程中最準確、最一致的結果。先進的功能允許精確控制等離子體，以及防止汙染的自動化安全功能。憑借其靈活的設計，ADVANCED PLASMA SYSTEMS B系列可用於廣泛的應用。它是各種蝕刻工作坊的完美解決方案。