二手 APTC Selex #9382377 待售

APTC Selex是一種先進的等離子體增強化學氣相沈積（PECVD），蝕刻/灰化設備，設計用於對工藝參數進行精確控制。這種精確控制允許沈積和制造小型、高精度的金屬結構和特征。該系統既利用高頻無線電波產生等離子體放電，又利用高壓直流弧以極高的精度蝕刻材料。這兩種技術的結合使Selex成為一種非常通用的沈積和蝕刻/灰化裝置。該機器配有各種氣體進料管線和腔室，旨在針對不同類型的材料進行優化。這包括一個高密度的石英反應堆，可以提供各種材料的均勻蝕刻。它還具有一個小型二次反應堆，溫度範圍可調，可精確控制蝕刻模式和材料沈積。對工藝參數的精確控制使得小型高精度結構可以重復和可靠地制造。該工具還包括一組易於使用的控制器和軟件。直觀的軟件允許快速設置和交付一系列專門設計用於處理過程中使用的不同材料的工藝配方。軟件還允許對每個單獨的流程步驟進行精確調整。這使得微調蝕刻過程以獲得最佳效果變得容易。APTC Selex資產的另一個特點是能夠集成遠程RFID代碼讀取器以自動跟蹤處理過的部件。這可用於為生產周期中的任何過程步驟提供清晰的審核跟蹤。這提供了有關每種產品的寶貴數據,使制造商能夠快速準確地改進生產過程或發現生產問題。綜上所述，Selex是一種通用的蝕刻/灰化模型，能夠精確蝕刻和沈積一系列高精度結構。利用高頻無線電波產生等離子體放電和高壓直流弧蝕刻材料。用戶友好的控件和軟件使微調每個流程步驟變得容易,從而實現可重復的結果。集成遠程RFID代碼讀取器的能力也為生產過程的改進提供了寶貴的數據。