二手 ARC ENERGY CHES400 #293667292 待售

ARC ENERGY CHES400是一種蝕刻器/aser,設計用於各種任務的簡單操作。這一設備利用真空設備將被測裝置（DUT）暴露於強烈的等離子體源，創造了一個高度選擇性和可重復的裝置蝕刻或灰化過程。這個製程室具有三室設計，有預室來製造等離子體、包含真空蝕刻或灰化過程的反應室，以及氣體輸送系統來將反應氣體引入反應室。CHES400設備裝有內置射頻發生器，產生射頻信號，產生電火花等離子體反應。ARC ENERGY CHES400的RF電源從0.05到15kW不等,因此可以運行各種等離子體蝕刻/灰化過程。計算機控制的可編程邏輯控制器允許用戶進行可編程過程配置，使用戶能夠自定義過程以滿足他們的精確要求。CHES400設備先進的標線定位單元包括先進的運動控制能力。設備機器還包括真空工具和氣體輸送系統，以確保反應室內的最佳操作條件。為防止DUT過熱,ARC ENERGY CHES400還包括一種先進的冷卻設備,用於將蝕刻溫度保持在預定的設定點。CHES400還包括一個禮帽式壓力室，允許自動排出和排出反應室中的氣體。ARC ENERGY CHES400設備旨在提供可靠、可重復和可重復的蝕刻/灰化操作,確保在廣泛的應用中表現出色。精密的模型能夠創建非常均勻的蝕刻輪廓,且材料蝕刻損耗最小,對DUT的損壞也最小。此設備執行的蝕刻/灰化過程也具有很高的選擇性和可重復性,從而產生易於管理的一致蝕刻性能。該設備還設計有高壓傳感器、緊急關機、報警等安全功能，保護人員和設備免受危險情況影響。總體而言,CHES400是一種先進的等離子體蝕刻/灰化設備,可為用戶提供可靠、可重復和可重現的廣泛應用性能。該設備設計方便操作，為蝕刻/灰燼開發和定制操作提供了出色的靈活性，以適應特定的蝕刻需求。