二手 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CEDE-100L #293757157 待售

ID: 293757157
優質的: 2013
System 2013 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY CEDE-100L是一個高度先進的蝕刻器/asher系統,旨在對半導體制造和研究應用中使用的各種材料進行精確高效的處理。這一尖端工具提供了一系列功能和特點,使其成為需要高精度和可靠處理解決方案的行業的重要資產。AST CEDE-100L配備了一個精密的等離子體蝕刻單元,能夠對蝕刻過程進行精確控制,以達到統一和可重復的結果。該機采用等離子體化學、氣流控制和射頻功率調制的組合,根據所加工材料的具體要求定制蝕刻工藝參數。這使得該工具能夠以極好的均勻性和選擇性實現高度精確的蝕刻輪廓,使其非常適合廣泛的應用,包括光刻剝離、表面清潔、材料去除和圖案轉移。ADVANCED ASSET TECHNOLOGY CEDE-100L的一個關鍵特點是其先進的工藝室設計,它結合了高性能真空模型,確保了清潔穩定的處理環境。該設備配有用於快速疏散腔室的渦輪分子泵和在整個蝕刻過程中保持所需工藝條件的精確壓力控制系統。這種堅固的腔室設計最大程度地減少了汙染,提高了過程的可重復性,並確保即使在長時間的處理過程中也具有很高的過程可靠性。除了先進的工藝室設計外,CEDE-100L還配備了一個精密的射頻供電單元,提供對等離子體產生過程的精確控制。該機器具有高頻射頻發生器和匹配網絡,可精確調整射頻功率級別,從而優化整個處理區域的等離子體密度和均勻性。這樣可以確保一致和可靠的蝕刻性能,即使在處理大型基材或復雜圖樣時也是如此。此外,AST/ADVANCED TOOL TECHNOLOGY CEDE-100L提供了一個用戶友好的界面,使操作員能夠輕松地對蝕刻過程進行編程和監控。該資產配備了帶有直觀軟件的觸摸屏控制面板,可提供實時數據可視化、過程監視和錯誤記錄功能。此用戶友好界面使操作員能夠快速設置新流程,即時調整流程參數,並診斷處理過程中可能出現的任何問題,從而提高生產效率並減少停機時間。此外,AST CEDE-100L的設計考慮到了可擴展性和靈活性,可方便地集成到現有的工藝系列中,並與各種工藝化學和材料兼容。該模型可以用各種選項和升級來定制,以滿足特定的應用要求,包括額外的氣體輸送系統、晶圓處理機制以及先進的過程監控工具。這種可擴展性和靈活性使ADVANCED Equipment TECHNOLOGY CEDE-100L一種通用的解決方案,可用於半導體、MEMS、光學和納米技術行業的各種蝕刻和粉刷應用。總之,CEDE-100L是一個高度先進的蝕刻器/asher系統,它為各種材料處理應用程序提供了無與倫比的精度、可靠性和靈活性。AST/ADVANCED MACHINE TECHNOLOGY憑借其先進的工藝室設計、先進的射頻電源輸送單元、用戶友好的界面和可擴展性功能CEDE-100L是需要高性能蝕刻解決方案的行業不可或缺的工具。
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