二手 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-100 #9059485 待售
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ID: 9059485
晶圓大小: 2 to 8
優質的: 2012
ICP-RIE system, 2"-8"
Specifications:
Chamber Materials: Anodized Al 6061T6
ICP Power: 1000 ~ 2500 W (Option)
Bias Power: 300 ~ 600 W (Option)
Wafer Numbers / Size: (13 - 1) pcs / (2"- 8")
Gas Lines with MFCs: 6 Standard Lines
Plasma Density: > 1E+11 ions/cm3
Reactor Base Pressure: < 1E-6 Torr
Process Pressure Range: From 0.1 to 100 mTorr
Substrate Cooling (Option): Chiller ( 5 ~ 35℃), or (RT-150℃)
Pumping System: Turbomolecular Pump + Rotary Pump or Dry Pump (Option)
Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR
Load/Unload (Option): Vacuum Robot Transport
Load-Locks Pumping System(Option) : Rotary Vane Pump
Load-Locks base Pressure(Option) : < 1E-2 Torr
Automatic Control System: Industrial PC with Graphic Control Interface
Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 100A,
Gas Inlet Requirement: 1.2 kgw/cm2
CDA Requirement: 5 kgw/cm2
Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20。, 25 l/min
2012 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY CIRIE-100是蝕刻/灰化技術的創新發展。該系統為要求最苛刻的公司提供領先的蝕刻/灰化技術。其尖端技術提供精確的結構特征以及更高的準確性和生產率。AST CIRIE-100可以通過其高級工藝在一個單獨的通道中刻蝕/刻蝕板和面板。它利用各種工藝氣體，允許選擇性蝕刻深度和物料去除，從而產生高度精確和可重復的結構。憑借其先進的工藝設計,ADVANCED Unit TECHNOLOGY CIRIE-100可容納各種板材和面板材料,包括FR-4、Cem-3、聚酰亞胺、鋁等。CIRIE-100的機動化高度調整機允許在最短的停機時間內快速輕松地更換模具。該工具還具有先進的運動控制和驅動資產以及高速掃描算法,可實現更快的蝕刻特征分辨率。它緊密集成的模塊化設計允許根據客戶的需要定制多功能集成和可擴展性。AST/ADVANCED Model TECHNOLOGY CIRIE-100提供了多種附加功能和配置,包括集成的再循環設備和可配置以滿足不同流程需求的高級流程功能。它具有用戶友好、直觀的控制器界面以及生成手動和可編程配方的能力。系統以自動、半自動和手動模式運行。AST CIRIE-100還提供各種高級安全功能,以保護設備免受意外損壞以及操作員安全。這些功能包括集成互鎖、NFPA安全合規性和除塵功能。該機器經過CE認證,符合UL標準,可安全用於各種工業應用。總體而言,ADVANCED TOOL TECHNOLOGY CIRIE-100提供了高度可靠和高效的高級蝕刻/灰化解決方案。憑借CIRIE-100的尖端功能和高級工藝功能,用戶可以實現精確的結構特征,從而提高準確性和生產率。
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