二手 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-200 #192121 待售
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AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY CIRIE-200是一款先進的蝕刻器/asher,其設計目的是在需要精確和精確的應用程序(如半導體加工)中提供一致、可靠的蝕刻和灰化結果。AST CIRIE-200在線性光束系統上運行,以便以高度的均勻性和可靠性精確蝕刻和灰燼。該單元允許傳遞均勻的各向異性特性,去除層叠或材料橋,同時產生更銳利的邊緣,從而確保結構平滑。ADVANCED MACHINE TECHNOLOGY CIRIE-200堅固的設計使其實現了高吞吐率,最大蝕刻時間為每晶圓3分鐘,直徑可達8英寸。這種令人印象深刻的吞吐量能力是由線性光束工具實現的,該工具具有廣泛的動態能量傳遞範圍,可確保滿足各種材料的需求。該資產具有集成的亞納秒脈沖發生器,可提供瞬時熱能而不產生化學副產物,非常適合用於處理易碎材料。CIRIE-200是一個非常通用的模型,能夠蝕刻多層不同溫度和厚度的材料。這使得它非常適合專門的蝕刻工藝,因為設備可以很容易地進行校準,以滿足廣泛的蝕刻參數。該系統具有直觀的人機界面(HMI),為用戶提供有關單元操作的詳細反饋,方便操作維護。AST/ADVANCED MACHINE TECHNOLOGY CIRIE-200按照嚴格的安全標準構建,具有自動安全關閉功能,以防止刀具損壞或傷害。該資產可確保人員和部件免受潛在的蝕刻和灰化危害。該模型還采用雙重隔離技術,以減少與微波等離子體操作相關的任何潛在風險。總之,AST CIRIE-200是一種非常先進的蝕刻器/asher,可確保在高吞吐量下始終獲得可靠的結果。它結合了堅固的結構和多用途的校準功能,使其成為任何蝕刻或灰化應用程序的理想選擇。
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