二手 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-200 #293758400 待售

AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-200
ID: 293758400
ICP-RIE System.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY CIRIE-200是一個精密的蝕刻/asher系統,旨在為半導體制造和其他納米技術應用提供精密處理。這個先進的工具結合了最先進的技術和功能,為各種蝕刻和灰化過程提供了高度的靈活性、可靠性和過程控制。AST CIRIE-200裝置配備了一個多用途的腔室,能夠容納多種工藝氣體,並提供廣泛的等離子體化學物質,以實現從矽片到先進材料如III-V化合物和介電膜等底物的精確蝕刻和灰化結果。這種靈活性允許用戶量身定制工藝條件,以滿足特定的設備要求和材料屬性,使得ADVANCED MACHINE TECHNOLOGY CIRIE-200適合各種研究和生產應用。CIRIE-200工具的一個關鍵特點是其先進的等離子體源技術,它能夠在整個加工室中高效、均勻地生成等離子體。資產利用高頻射頻功率維持穩定的等離子體放電,促進蝕刻/灰化過程的均勻性和一致性。這種高性能的等離子體源確保了可靠和可重復的結果,對於過程開發和生產質量控制至關重要。AST/ADVANCED MODEL TECHNOLOGY CIRIE-200設備還集成了先進的工藝監控能力,能夠實時調整氣體流量、壓力、溫度、射頻功率等關鍵參數。此控制級別允許用戶優化工藝條件,以獲得最大的蝕刻/灰分速率、選擇性和輪廓控制,從而為各種設備結構和材料提供精確且可重復的結果。在安全性和可靠性方面,AST CIRIE-200系統設計有多個聯鎖和安全功能,以確保操作員在運行過程中的保護和單元完整性。該機器還包括可靠的診斷和自檢例程,以方便維護和故障排除,最大限度地減少停機時間並提高半導體制造設施和研究實驗室的生產率。ADVANCED TOOL TECHNOLOGY CIRIE-200資產配備了用戶友好的界面和軟件控制模型,便於配方管理、數據記錄和遠程監控功能。此直觀的界面允許操作員輕松編程和執行復雜的蝕刻/灰化過程,以及分析和可視化過程數據以進行優化和文檔記錄。總體而言,CIRIE-200是一款尖端的蝕刻器/asher設備,為半導體加工和納米技術應用提供無與倫比的性能、精確度和多功能性。AST/ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY憑借其先進的等離子體源技術、過程控制能力和用戶友好的界面,為尋求推動半導體行業設備制造和材料加工邊界的研究人員和工程師CIRIE-200了一個全面的解決方案。
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