二手 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-200 #9059484 待售
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ID: 9059484
晶圓大小: 2 to 8
優質的: 2012
ICP-RIE system, 2"-8"
Specifications:
Chamber Materials: Anodized Al 6061T6
ICP Power: 1000 ~ 2500 W (Option)
Bias Power: 300 ~ 600 W (Option)
Wafer Numbers / Size: (13 - 1) pcs
Gas Lines with MFCs: 6 Standard Lines
Plasma Density: > 1E+11 ions/cm3
Reactor Base Pressure: < 1E-6 Torr
Process Pressure Range: From 0.1 to 100 mTorr
Substrate Cooling (Option): Chiller ( 5 ~ 35℃), or (RT-150℃)
Pumping System: Turbomolecular Pump + Rotary Pump or Dry Pump (Option)
Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR
Load/Unload (Option): Vacuum Robot Transport
Load-Locks Pumping System(Option) : Rotary Vane Pump
Load-Locks base Pressure(Option) : < 1E-2 Torr
Automatic Control System: Industrial PC with Graphic Control Interface
Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 100A,
Gas Inlet Requirement: 1.2 kgw/cm2
CDA Requirement: 5 kgw/cm2
Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20。, 25 l/min
2012 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY CIRIE-200是一種高級蝕刻機,旨在滿足專業工程和電氣應用的需求。這種尖端設備能夠產生快速和精確的結果，具有卓越的精度和精確度。AST CIRIE-200利用先進的設計和施工原理來確保每個操作都能高效運行。最令人印象深刻的功能之一是,它的自動化過程無需任何手動幹預即可運行,進一步使過程更加可靠。該機配備了強大的電機和柔性傳動系，使其能夠自動調節切削速度、葉片壓力和扭矩。其優越的運動控制確保其精度和準確性保持在一個一致的水平，甚至隨著時間的推移。ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-200還具有獨特的空氣凈化操作,允許其無石棉操作。此功能有助於保護操作員和產品免受有害灰塵、顆粒和煙霧的侵害。該機還具有出色的5軸驅動單元,提供卓越的精度和無與倫比的速度。滑板允許切削板厚度從0.001英寸到1.500英寸,精度為±. 0002英寸。這使得它非常適合復雜和詳細的蝕刻。除了令人印象深刻的性能外，CIRIE-200還配備了多種先進的安全功能。其用戶友好的界面使其易於設置和操作,而其精確的自動關機功能有助於確保準確和安全的操作。機器強大的緊急停止功能有助於防止危險情況並保護操作員。為了確保成功和卓越的性能,AST/ADVANCED MACHINE TECHNOLOGY CIRIE-200旨在滿足電力和數據管理方面的所有工業標準。該機配備了可靠的溫度和電壓監測工具，以及用於精確性能的風冷氫冷卻資產。該機還具有重型鋼制機架安裝、模塊化結構、快速方便的設置以及充足的存儲和控制機櫃,可用於產品管理。綜上所述，AST CIRIE-200是專業工程師和電氣應用的理想蝕刻機。其卓越的運動控制和空氣凈化操作確保了快速、精確和可靠的性能,而其先進的安全功能有助於保持操作員和產品的安全。憑借堅固的鋼結構、風冷氫冷卻、溫度監測等模式，這臺蝕刻機將真正達到任何工業標準。
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