二手 ATIS Tiwn station #9292738 待售

ATIS Twyn Station是一種高速蝕刻/灰化儀器，設計用於材料研究實驗室。它用於將平面樣品和3D樣品轉換為細粒、均勻的基材，可用於進一步分析。ATIS Twin Station提供了與傳統蝕刻/灰化儀器相比的幾個明顯優勢，包括能夠並行處理兩個晶片。這大大縮短了儀器的循環時間，從而加快了樣品處理的周轉速度。它能夠在同一晶片上同時產生蝕刻和灰化步驟,提供一個單步處理解決方案,非常適合超高密度設備。此外,ATIS Twin Station還配備了擴展的自動化功能,可提高標準蝕刻/灰化工藝的效率和可重復性。這包括對工藝參數進行精確或重新校準、異地顯微鏡檢查以及通過自動升空制備樣品的能力。為了確保一致和統一的處理結果，ATIS Twin Station配備了真空室，可以容納廣泛的溫度和壓力設置。該室還采用了可調攪拌機構，具有方便的樣品加載系統和內部加熱線圈，用於均勻的熱分布。此外，ATIS Twin Station包含了在處理過程中監測氣體流量、溫度、壓力和腔室清潔度的先進診斷。這就產生了更準確的結果，減少了工藝暴露和更一致的技術控制。總體而言，ATIS Twin Station是一種精密的蝕刻/灰化儀器，非常適合用於研究或制造實驗室。其先進的自動化和過程監控功能提供了出色的可重復性,而其雙晶圓並行處理方法減少了周轉時間並提高了最終產品產量。