二手 AVIZA Celsior #293821839 待售

AVIZA Celsior
ID: 293821839
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Atomic Layer Deposition (ALD) system, 12" No mechanical hand (4) Chambers 2006 vintage.
AVIZA CELSIOR是一種先進的蝕刻/灰化機,旨在提供精確可靠的工藝結果。主要用於電子、化學和生物醫藥行業。該機采用低壓冷凝蝕刻和高溫灰化工藝相結合。這將導致進程的總變化小於0.1% wt。這樣可以實現較高的可靠性和改進的工藝產量,並產生比正常情況下更高的精度結果。CELSIOR配有PFA內室,提供更高的氣流穩定性和等溫蝕刻條件。PFA材料也使其具有很高的耐腐蝕性。獲得專利的氣體控制設備使蝕刻工藝能夠針對最佳的產品晶片進行優化。機器還配備了QuickStart™的自檢功能,有助於減少蝕刻開始前的設置時間。還可以使用內置儀表遠程監控該系統。此功能允許您查看工藝溫度和條件,並允許快速識別和糾正潛在問題。它還有一個內置的自動計時器,可以重復蝕刻和灰化過程,並有助於提供可靠和可重復的結果。AVIZA CELSIOR也是完全自動化的,消除了操作錯誤的風險。它與最高的可用溫度循環兼容,使得它甚至適用於最困難的過程。CELSIOR還提供極好的安全級別,因為它有一個內置的安全聯鎖機,這意味著如果一個蝕刻或ashing步驟失敗,機器將自動關閉防止有毒氣體泄漏和其他潛在危險。AVIZA CELSIOR是一種可靠、精確的蝕刻/灰化工具,具有卓越的工藝性能。操作簡單易行,適用於廣泛的蝕刻和灰化操作。CELSIOR是那些尋找可靠和精確的蝕刻和ashing機的理想選擇。
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