二手 AVIZA Sigma FxP #293823281 待售

ID: 293823281
PVD system Frequency: 60 Hz Voltage: 400 V (2) CSW-61 Cryo-compressors (4) KASIYAMA MU100 Dry pumps MKS GE50A Mass Flow Controllers (MFC) CDA (Clean Dry Air) Cooling system PFEIFFER HiPace 300 Turbo pump PFEIFFER HiPace 700 Turbo pump GTM-OS Transport module Front monitor: trolley Rear monitor: laptop Paramount RF PSU (PM2) Power supply RFA-600A (PM3) Power supply Ascent units: 20 kW Magnetrons Shutters Resistor banks Platen: SP-CrOx Wafer lift rings Wafer retainers Pins VX Aligner (AUX – Left) GEM Interface SECS / SECS-II Communication interfaces Cables HE Leak port Hoist Rev B MM.
AVIZA Sigma FxP是為半導體制造工藝設計的高性能蝕刻器/asher設備。這一尖端工具集成了先進技術,提供精密、均勻的蝕刻和灰化操作,對於制造集成電路和其他微電子器件至關重要。Sigma FxP系統提供了一整套功能和特性,使半導體制造商能夠滿足現代設備制造過程的嚴格要求。AVIZA Sigma FxP單元的核心是其堅固的等離子體處理室,為各種蝕刻和粉刷應用提供了受控環境。腔室配有高頻射頻等離子體源,產生穩定的等離子體放電,方便高效的物料去除和表面清潔。等離子體源能夠產生廣泛的化學物質,使用戶能夠為特定的裝置結構和材料選擇最佳的工藝氣體和參數。Sigma FxP機器的主要優點之一是它在支持多重蝕刻和粉刷技術方面的多功能性。該工具可以同時執行幹蝕刻和等離子體灰燼工藝,為解決半導體制造中的不同工藝要求提供了靈活性。幹蝕刻通常用於精確去除半導體晶片上的特定材料層,而等離子體灰燼則用於在隨後的加工步驟之前去除殘留物和制備表面。AVIZA Sigma FxP資產配備了高級流程控制功能,以確保生產運行過程中的結果一致且可重復。該模型具有實時監控和反饋機制,使用戶能夠即時優化過程參數,並保持對蝕刻和灰度性能的嚴格控制。此外,該設備還集成了智能軟件算法,提高了過程的穩定性和可靠性,最大限度地減少了設備制造中的變化和缺陷。除了流程控制功能外,Sigma FxP系統還提供一系列自動化功能,可提高運營效率和吞吐量。該單元旨在無縫集成到半導體制造系列中,簡化生產工作流程並縮短周期時間。自動化的裝卸機制允許快速處理晶片,而機械臂則允許在加工室之間進行原位晶片轉移以進行連續操作。此外,AVIZA Sigma FxP機器還集成了高級安全功能,以確保操作員在處理過程中的保護和設備完整性。該工具配有聯鎖和傳感器,用於監控腔室壓力、氣體流速和等離子體條件等關鍵參數,以防止潛在危害,維護安全的操作環境。此外,該資產采用內置的緊急關閉程序和安全協議進行設計,以便在模型發生意外故障時降低風險。總體而言,Sigma FxP設備為尋求高性能和可靠等離子體處理能力的半導體制造商提供了最先進的蝕刻器/asher解決方案。憑借其先進的技術、全面的功能和強大的設計,AVIZA Sigma FxP系統使半導體制造商能夠在當今要求苛刻的半導體制造領域實現高產率、優越的設備質量和提高的工藝效率。
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