二手 AVIZA / SPTS Omega i2L #293647178 待售
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單擊可縮放
ID: 293647178
晶圓大小: 8"
優質的: 2007
ICP Etcher, 8"
ICP Chamber
ESD Chuck
ESC
ADVANCED ENERGY Paramount 1513 RF Generator, 1.5 kW
HiLight 133 RF Generator, 300 W
Spectrum view / End point detector
Gases:
BROOKS AUTOMATION MFC
N2 (Purge)
Ar
N2
O2
O2
CHF3
CF4
BCL3
CL2
Missing parts:
CU500 Chiller
Dry pump
Panels
ISOPOD Power
2007 vintage.
SPTS Omega i2L是一種高級蝕刻器/asher,專為一系列材料的高真空處理而設計。它具有功能強大、靈活的蝕刻設備和多種工藝選項,使客戶能夠在一系列材料上快速可靠地生產各種復雜的功能。系統核心是功能強大的單晶片真空蝕刻器源，具有一系列受控蝕刻氣體，在蝕刻工藝的選擇上提供了高度的靈活性。蝕刻源蝕刻速率範圍大，從3到200 nm/min，能夠進行反應性離子蝕刻（RIE）、各向同性蝕刻和深各向異性蝕刻。它支持各種定義明確的蝕刻氣體，允許針對目標材料量身定制蝕刻工藝。歐米茄i2L還有一個單片灰燼。這使客戶能夠在同一單元上完成蝕刻和灰化過程,從而提高效率和生產率。Asher具有高質量的等離子體源，能夠從1000℃到600℃的過程。它還具有自動控制氧氣流動的功能，使其更容易根據目標材料調整灰化過程。除了蝕刻器/asher之外，SPTS歐米茄i2L還包括一臺集成了電子渦輪泵和兩臺粗加工泵的整合式真空機，提供了高水平的工藝穩定性和性能。這允許用戶在一系列腔室大小中實現高真空工藝條件，確保最佳工藝效果。總而言之,Omega i2L是一款高級蝕刻器/asher,它提供多種工藝選項,使客戶能夠快速可靠地在一系列材料上生成復雜的功能。它還包括一個集成的真空工具和一系列自動化過程，提供高水平的性能和過程穩定性。它是各種關鍵蝕刻和灰化應用的理想選擇。
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