二手 AXCELIS / FUSION 200 MCU #293759045 待售
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AXCELIS/FUSION 200 MCU是設計用於半導體器件制造的先進曝光設備。這套全自動系統配備了多種功能，確保優越的晶圓曝光精度和可重復性。其用戶友好、直觀的軟件使其易於使用,並允許快速的程序設置和執行。該單元配備了先進的快速步進器，減少晶圓曝光時間，增加吞吐量。這種快速步進器的分辨率為1.25 µm，掃描速率高達10,800 WPH。精密的晶片裝載機保證了晶片裝載力條件的均勻性.該工具還具有先進的輻射計資產，可確保晶圓曝光正確、準確地校準。這臺輻射計配有氙氣閃光燈，用於精確晶圓照明。FUSION 200 MCU高度靈活的晶片盒模型使晶片識別和交換成為可能，而其獨特的可編程真空設備提供真空控制。AXCELIS 200 MCU的精密設計提供了整個晶片的平等掃描,以獲得更高的精度。其高分辨率成像確保晶片準確、均勻地曝光。它提供了廣泛的曝光場大小和場角度，以適應各種晶圓大小和結構。200 MCU還具有功能強大的數據通信系統,可方便將數據從設備快速傳輸到外部服務器或存儲介質。這臺數據通信機與其他曝光系統兼容，便於高分辨率光刻的無縫數據傳輸。此外,AXCELIS/FUSION 200 MCU還利用增強的安全功能,如警報和緊急關機功能。此功能可確保在溫度超過特定閾值時刀具停止正常工作,從而防止損壞設備和人員。總體而言,FUSION 200 MCU是設計用於半導體器件制造的高級曝光資產。此型號具有多種特性,可確保優越的晶圓曝光精度和可重復性。其精密的設計和安全特性使其成為任何高精度光刻應用的可靠高效的設備。
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