二手 AXCELIS / FUSION 200 MCU #9257180 待售
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AXCELIS/FUSION 200 MCU（Multi-Cavity UVC）是一種用於制造集成電路的超精確光刻曝光設備。該系統采用超高速氙氣閃光燈和400瓦弧光燈,可快速準確地曝光。該裝置具有先進的光學器件，能夠實現其精度和分辨率，最大限度地提高線寬精度和減小。二色鏡、冷凝透鏡、濾鏡都是用高度先進的材料制造，達到最高質量標準。FUSION 200 MCU曝光機具有獨特的特點，是每次曝光量1毫秒的極快曝光時間，可實現超細分辨率和更好的吞吐量。它具有快速、高精度的步驟和重復操作功能,並具有自動對齊和註冊功能。該工具設計了一個直觀的用戶界面，以方便資產的導航和操作，這使得AXCELIS 200 MCU極其人性化和符合人體工程學。界面還包括配方管理功能,可提供全面的工作流功能。該模型還利用機器人發動機將晶片和基板裝載到曝光設備上，並利用硬件層精確定位和對準口罩和基板。200 MCU提供了可重復的曝光精度,利用了光束增壓器、超高真空、超低粘度和低對比度調節器的最新發展。它還具有用於全芯片對齊的高分辨率膠片對齊器和較少的掩模標記。該系統還具有一個自動化的邊緣珠測量單元以減少開發時間,以及一整套軟件包（如CAD和批處理模式）,以提供全面的示意圖、布局和曝光控制功能。AXCELIS/FUSION 200 MCU也可以與激光劃線設備配合使用，進行精確蝕刻。總而言之,FUSION 200 MCU是一款極其可靠和先進的曝光機,擅長提供最高水平的精度和準確性,使制造商能夠提供高質量的集成電路產品。
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