二手 AXCELIS / FUSION 200 MCU #9399673 待售

AXCELIS/FUSION 200 MCU是一款先進的基於微處理器的紫外線曝光設備，用於半導體行業。該系統便於改進過程控制,具有較高的吞吐量和靈活性。曝光單元包括獲得專利的液壓發射模塊（HEM）和提供快速、精確、可重復基板定位的智能座椅基板定位機（SSSPS）。此工具還具有機器人傳輸模塊（RTM）,允許在HEM和SSSPS之間傳輸多個基板。液壓發射模塊是一套專門的組件，用於處理基板的對準、光強度控制和資產的劑量控制。它能夠發射六個聚焦的紫外線柱，確保基板均勻暴露於光源。智能座椅基板定位模型允許在每個曝光脈沖期間對基板進行重復對準。其先進的算法運行快速準確的反饋循環，以優化基板與掩模之間的接觸。它使用視覺傳感器、激光探針、精細Z軸調整和基板設置參數的組合。機器人傳輸模塊通過從HEM和SSSPS加載和卸載基板來簡化基板處理過程。它可以使基板的輸送機設備傳輸同步，從而減少暴露過程的每個周期之間的時間延遲。FUSION 200 MCU為用戶提供了一整套用於數據分析、過程控制和優化的軟件工具。它提供了存儲和顯示配方和工藝參數的功能,還可以使用多次曝光的數據生成報告。AXCELIS 200 MCU也為廣泛的基材尺寸、幾何形狀和材料設計。其先進的光學設計使其能夠適應不同厚度的基材和不斷變化的工藝條件。此外,它還提高了生命周期效率,從而提高了工作效率。總體而言,200 MCU是一個高級、高吞吐量和靈活的曝光系統,可讓用戶更好地控制流程並提高效率。它的高級組件和軟件工具為用戶提供了優化的曝光過程,從而確保了對曝光過程的準確控制和優化。