二手 AXCELIS / FUSION 202 MCU #9399077 待售

AXCELIS / FUSION 202 MCU
ID: 9399077
晶圓大小: 8"
Asher, 8".
AXCELIS/FUSION 202 MCU是FUSION Technologies開發的蝕刻/asher設備,用於生產半導體行業的多樣化元件。該單元是一個多合一,易於操作和安裝蝕刻/asher系統適合大容量,微電子生產。FUSION 202 MCU旨在提供微電子的精密和大容量蝕刻,如封裝基板、柔性電路以及有機和混合封裝。其占地面積小(約7.2 x 12.2英尺)和模塊化設計使其易於集成到任何生產線中。它采用Twin 2000電離群集工具技術,最多可安裝8個加工站,每個加工站最多安裝4個處理器。可以將設備配置為提供一系列工藝功能,使開發人員和工程師能夠滿足其特定的生產需求。蝕刻器/asher附帶了一套軟件工具,包括開發套件和Vision軟件,允許用戶使用存儲的過程配方和跟蹤蝕刻/ashing統計信息。該機還可用於有多個加工站的自動化生產線,在它們之間交換晶片。AXCELIS 202MCU的構建考慮到安全性和可靠性。它具有雙壁外殼,使其在長時間蝕刻/灰化過程中安全穩定。它配備了一系列傳感器和網關,監測蝕刻器/灰燼內部的狀況,並應對環境變化。由於增加了幾個過程控制模塊,進一步加強了過程中的監測能力。202MCU已通過測試和驗證,以符合最新的微電子蝕刻/灰化SEMI標準,為微電子提供可靠的生產能力。其出色的蝕刻和灰化性能,以及易於集成和操作,使其成為大規模制造微電子的理想選擇。
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