二手 AXCELIS / FUSION 300 MM #9182227 待售

AXCELIS/FUSION 300 MM 蝕刻器/asher是一種先進的蝕刻和灰化設備，設計用於生產用於制造先進半導體器件、MEM和3D集成的精密蝕刻和灰化金屬化圖樣。系統由蝕刻器和灰化器兩部分組成。蝕刻器配有高功率電子回旋共振（ECR）離子源和可編程的多面、內部、雙向、矢量掃描、狹縫掃描靜電束整形單元。這允許選擇非常廣泛的粒子，並根據應用的需要改變蝕刻垂直輪廓深度和均勻性。Asher配備了高功率、集成、多頻、可編程的射頻等離子體源,可確保整個工件均勻灰化,從而提高了先進半導體器件應用的上市時間。該機可處理FUSION 300 MM晶片，在制造過程中具有較高的吞吐量和較高的精度。它具有兩個獨立的氣體淋浴組件（GSA），以實現最佳的氣體輸送。采用雙面工藝，腔室最多可支持八種工藝，包括蝕刻、灰化、薄膜沈積、清潔、鈍化和圖樣處理。它還包括一個用於監測工藝參數的集成多色掃描儀，以確保以最佳性能可靠地制造產品。AXCELIS 300 MM asher/etcher也高度可定制,使用戶能夠為其應用程序選擇最佳工藝條件。通過其軟件界面，該工具可以處理各種工藝配方。配方在資產數據庫中進行管理,並使用基於自定義圖形的顯示進行訪問或編輯。該模型還與操作員控制臺集成在一起，提供了一種實時監控流程和調整參數的高效方式，以確保取得最佳效果。300 MM 蝕刻器/asher已通過CE和SEMI安全認證,是制造需要復雜蝕刻和灰燼工藝的前沿材料的強大工具。其多功能性和易用性使其成為尋求生產優質半導體元件的公司的絕佳選擇。