二手 AXCELIS / FUSION ES3 #293616813 待售

AXCELIS/FUSION ES3是FUSION Technologies設計制造的先進蝕刻器/asher設備。它在濕法和幹法蝕刻/灰法過程中都具有先進的蝕刻/灰法能力。FUSION ES3具有獨特的雙室設計,允許快速輕松地更改各種蝕刻/灰燼參數。它能夠以高達每小時35個晶圓的速率進行高通量處理。AXCELIS ES3采用了先進的EPICAL （e-Process Image Controlled Ashing）技術,使系統無需人工幹預即可精確控制蝕刻/灰燼參數。EPICAL結合晶圓成像、參數優化和精密的過程控制單元，以確保最佳蝕刻/灰燼性能。這項技術已被證明能夠提供可靠的過程執行,具有出色的可重復性,尤其是在高長寬比、高層厚度和大特征尺寸的應用中。ES3在使用環境方面也是多用途的。它可以配置各種皮帶配置、真空連接和硬件設置。這臺機器還配備了一個大的動態觸摸屏用戶界面，提供直觀和輕松的用戶體驗。屏幕設計方便導航，使操作員能夠快速方便地訪問各種流程和配方。AXCELIS/FUSION ES3還提供卓越的安全性和能效。該工具配備了專門設計的E-Safe功能，可以不斷監控和自動調制資產的功率輸出。此功能可確保精確的蝕刻/灰分水平以及極低的過度蝕刻風險。還設置了保護措施,以防止過熱,即使在高能耗過程中也能保持模型的性能。最後,FUSION ES3以其強大的過程控制功能而聞名。該設備具有獨特的工藝監視器,可用於實時跟蹤蝕刻/灰分工藝及其配方、計量數據和其他工藝參數。AXCELIS ES3還提供了許多數據分析、數據存儲和報告選項。所有這些功能使ES3成為當今市場上最先進的蝕刻器/分類器之一。