二手 AXCELIS / FUSION ES3 #293617650 待售

AXCELIS/FUSION ES3是一種用於微電子器件制造的高性能、可靠的asher/etcher。該設備具有單一的負載鎖和高可靠性的晶圓處理卡帶系統，以提供最高清晰度的蝕刻和灰化過程。該單元采用精密的光束線控制機，對焦點和光束對準進行精確定位，為當今最先進的設備的蝕刻和灰化控制要求提供均勻性和層級控制。FUSION ES3 蝕刻器/asher腔室是為高晶圓通量而設計的，能夠一次處理多達30個晶圓。它具有快速的切換時間和對焦點和光束的精細調整，具有較高的可重復性。梁束線控制工具具有自調整特性，適用於多級蝕刻和灰化，具有凸凸輪廓控制和均勻性以及鋒利的邊緣控制。該資產具有蝕刻和粉刷鋁矽酸鹽玻璃、石英、SiC和SiG的能力，具有PLD、IPD、PECVD等標準工藝可用。該腔室有一個隔離的基板偏置，以最小化散粒噪聲，減少粒子電荷積累，提高納米控制和均勻性。該模型還包括可變腔室溫度控制和彈射控制等高級功能，以確保最高質量的蝕刻圖案。AXCELIS ES3采用最新的高功率射頻發電機，提供穩定的輸出和高密度的電容匹配，在其蝕刻和灰化過程中實現高性能和高產。射頻發生器和腔室的設計是為了防止熱點和提供高均勻性，允許更快的運行和更高的產量。ES3 蝕刻器/asher是為最大產量而設計的,其可靠且經過驗證的晶圓處理盒式磁帶和低成本、均勻的蝕刻工藝。它的一套先進的特點，加上快速的切換時間和精確的光束控制，使得這種設備非常適合最先進的微電子設備。