二手 AXCELIS / FUSION ES3 #293802351 待售

AXCELIS/FUSION ES3 蝕刻器/asher是一個集成的解決方案,它為等離子體蝕刻、等離子體灰化和其他相關工藝提供了最先進的技術。它是FUSION射頻發生器、控制過程化學的著名平臺和FUSION ES3 蝕刻器/asher室的組合。AXCELIS射頻發生器擁有300 MHz脈沖射頻源，用於蝕刻和/或灰燼處理。它具有廣泛的功率和時間控制模式，能夠精確控制和統一的過程。射頻發電機還配備了創新的雙頻控制設備，可配置在兩個獨立的頻段控制功率。此功能可確保優化的過程均勻性,並使生成器能夠快速響應過程條件中的任何變化。AXCELIS ES3 蝕刻器/asher腔室由兩個加工腔室和一個集成的轉移系統組合而成。蝕刻室具有時間控制過程和大氣流能力，對蝕刻過程提供極好的控制。Asher腔室利用氧氣氣氛中的動態氧化來實現晶片上有機物的快速去除。它設計了一個擴展端口,允許將來的靈活性和可擴展性。集成傳輸單元由一個機器人臂和一個航天飛機組成，旨在確保高吞吐量和高生產率。ES3蝕刻器/灰化器是一種可靠且功能強大的機器,能夠為蝕刻和灰分過程提供一致的結果。它具有直觀的用戶界面,易於使用,有助於最大限度地提高生產效率。雙頻控制工具可確保對過程的精確控制,並能夠以低成本進行精確蝕刻和灰化。此集成解決方案為用戶提供了一個完整的蝕刻/灰化解決方案,為他們提供了獲得卓越效果所需的一切。