二手 AXCELIS / FUSION ES3 #293822281 待售

AXCELIS/FUSION ES3 蝕刻器/asher是一種先進的高級蝕刻設備,具有用於Ultratecxa™和Accubond™晶片的全自動盒帶到盒帶基板處理系統。FUSION ES3利用其全自動晶圓傳輸單元實現了極高的產量,同時提供了最高級別的過程可重復性和穩定性。AXCELIS ES3由於其兼容的高通量感受器設計而實現了更高的吞吐量。感應器設計具有上層井的幾何形狀,並配有RS36和RS46插槽配置的四重奏。這些變量有助於改善整體蝕刻工藝，允許更大的物料去除，並顯著減小顆粒尺寸。此外,ES3 蝕刻器/asher還提供了與蝕刻工藝更好的匹配。這種蝕刻速率的均勻性允許更高級別的可重復性和控制。通過使用四個角偏移和八個中場光電傳感器監測蝕刻均勻性。這臺監視機器創建了對整個蝕刻過程的超精細控制。AXCELIS/FUSION ES3 蝕刻器/asher由專有的過程控制軟件提供支持。此軟件提供了對眾多蝕刻過程的集中控制和數據管理,同時允許多個用戶訪問共享的過程數據。該平臺允許客戶創建自己的流程或從其他已建立的流程開發參數，對蝕刻室進行前所未有的修改和調整。FUSION ES3 蝕刻器/asher是出於安全考慮而設計的。它被安置在一個完全封閉的真空環境中，配有檢修門和一個可移動的排氣口。密封工具旨在防止任何危險副產品意外從蝕刻過程中釋放，並保護工人和設備免受有害氣體或材料的侵害。總體而言，AXCELIS ES3 蝕刻器/asher是一種先進的高通量半導體蝕刻和灰化資產。其敏感器設計直觀且符合人體工程學，允許在蝕刻過程中更大的重復性和控制。它具有廣泛的工藝支持、安全特性和方便的操作控制模型，為用戶尋找可靠、高效的蝕刻設備提供了絕佳的選擇。