二手 AXCELIS / FUSION ES3i #293802266 待售

AXCELIS/FUSION ES3i是一種高通量、雙光束蝕刻器/asher設備,在半導體制造業中提供可靠、可重復的結果。它能夠蝕刻和灰化矽、化合物和非矽基材料。它使用感應耦合等離子體（ICP）源提供了一個非常狹窄且很深的蝕刻，也有快速去除抗蝕層和鈍化層的抗蝕帶模式。FUSION ES3i具有雙光束結構,可同時在同一腔室中蝕刻和粉刷兩個晶片,從而提高吞吐量。它采用了射頻等離子體源、源功率斜坡和預測離子能量控制器單元，從而消除了端點檢測的需要，並確保了一致的高重復性和準確性。機器使用了復雜的用戶界面，支持智能技術優化流程的每一步，以及將輸出數據集成到主機工具控制器中。AXCELIS ES3i是一個可擴展的平臺，提供了很高的過程靈活性，並支持多晶片蝕刻和灰度配方。例如，它可以配置為在單個工藝室內使用不同的氣體，用加熱和冷卻的PECVD處理晶片，或者在第一個晶片完成時自動在兩個晶片之間切換。它還具有用於監測關鍵工藝參數的高精度端點檢測資產,以及一系列預防性維護選項,包括過壓、過溫和真空保護丟失。此外,ES3i還提供高級數據管理選項,使用戶能夠監視、審閱和報告流程結果。它旨在提供實時反饋,在流程發生偏差時提供自動報警,並能夠存儲多達30種配方以供將來使用。最後但並非最不重要的是，它配備了98%的潔凈室設計，減少了顆粒汙染，以及氣體連接專用端口，簡化了設置、維護和性能優化。