二手 AXCELIS / FUSION G03 #9187636 待售

AXCELIS/FUSION G03 蝕刻器/asher是一種高端的工業精密蝕刻和灰化設備,專為從研究到制造的廣泛應用而設計。該系統旨在為高質量、高精度產品的制造提供高精度和重復性。FUSION G03是一個功能齊全的單元,具有靈活性和多重處理功能,可以滿足許多不同應用程序的需求。AXCELIS G03旨在提供高精度和重復性。該機由精密真空室和精密運動控制工具以及真空泵組成。這樣可以確保重復、一致的蝕刻和灰化結果。G03還配備了氣體沈積源，以進一步加強蝕刻工藝。AXCELIS/FUSION G03通過用戶友好界面進行控制,該界面可以設置參數、監控蝕刻/灰度時間並提供實時反饋。FUSION G03精密室的設計旨在減少樣品汙染，並在整個蝕刻和灰化過程中保持穩定的底壓。FUSION專有EtchFlux™功能允許以非常精細的步驟蝕刻復雜幾何形狀,而不會增加氣體消耗或加熱器功率。這樣可以更好地控制蝕刻和灰化結果。AXCELIS G03還提供多種流程功能。它與多種蝕刻和灰化氣體兼容，包括腐蝕性、稀有和危險性氣體，用於廣泛的材料蝕刻應用。此外，它的高靈敏度溫度控制允許非常高的可重復性，最小化蝕刻錯誤的機會。盡管具有工業層面的能力，G03也是直觀和用戶友好的。根據應用程序的不同,它可以用作從毫米到數百毫米的樣本量。它還配備了功能強大的診斷軟件包,可幫助快速識別問題並及時備份和運行資產。總體而言,AXCELIS/FUSION G03是一款高級蝕刻器/asher,具有高精度、重復性和靈活性。它是高精度蝕刻和灰化工藝的理想選擇，適用於工業和研究應用。