二手 AXCELIS / FUSION G03 #9187639 待售

AXCELIS/FUSION G03是一種由高科技部件組成的等離子體蝕刻器和灰化器,旨在提供精密蝕刻和灰化技術。這是一臺小巧但用途廣泛的機器,它將蝕刻和灰化功能結合到一個高性能的單套件中。FUSION G03非常適合解決多種行業和領域中多種材料工藝具有挑戰性的蝕刻和灰化需求。AXCELIS G03具有許多高級功能,包括一個強大的離子源和一個磁點燃的電弧,允許從低電平到高電平的可擴展功率密度。這提供了更大的工藝靈活性,可滿足多種材料表面的所有蝕刻需求。其先進的線性離子源設計也使得更均勻可控的蝕刻具有改進的化學分布，以達到最佳的蝕刻效果。該設備具有快速蝕刻速率,在生產運行中速度高達30 nm/min。G03配備了獨特的兩區工藝室，即使在大型生產運行中也能確保出色的蝕刻均勻性。它的模塊化設計使得維護和操作更加容易。濕度傳感器系統有助於防止汙染，對流冷卻系統有助於控制過程溫度。該設備還與各種監控和診斷系統集成在一起，為用戶提供了對蝕刻過程的深入了解。AXCELIS/FUSION G03可以手動或自動模式操作,同時支持遠程監視和控制功能。它配備了最新的處理技術，包括實時監控蝕刻端點的自動端點傳感算法。設備還維護一個可以下載的蝕刻結果日誌,以提供有關該過程的詳細信息。其用戶友好的功能,包括直觀的UI和集成的觸摸屏顯示屏,使FUSION G03適合技術專長較少的員工。它的安全功能包括一個可移動的鑰匙，用於防止未經授權的進程啟動。該裝置還建有一個堅固的保護外殼，保護它免受灰塵和其他顆粒。總體而言,AXCELIS G03是一款非常可靠、高性能的等離子體蝕刻器,旨在滿足各個行業和領域的需求。其創新的設計提供了廣泛的流程功能,實現了可重復、可靠的結果。