二手 AXCELIS / FUSION G03 #9187640 待售

ID: 9187640
Dual chamber asher Currently warehoused.
AXCELIS/FUSION G03是一款高級蝕刻器和asher,旨在滿足當今先進半導體生產的需求。它是一種多站、多階段的工藝工具,允許用戶蝕刻、粉碎和退火各種材料,以產生精密的圖案,具有極好的精度和重復性。FUSION G03具有堅固的結構和可靠的自動化設備,非常適合生產各種復雜組件。AXCELIS G03有一個300毫米全過程腔室,它在單個固態單元中結合了蝕刻、灰化和退火操作。這確保了一致的過程環境,即使對於復雜的設計和復雜的制造過程失敗也是如此。它有一個非常通用和強大的自動化系統,對壓力、流量、溫度和氣體混合物等過程參數進行精確、實時的控制。G03利用各種蝕刻和粉刷配方精細控制蝕刻過程,保證所有零件的形狀準確,滿足嚴格的設計要求。該機器是一個全場電容耦合蝕刻器和asher,包括一個功能集,它可以處理廣泛的材料和過程。軸向和徑向各向異性被內置到單元中,允許對單尾和過度切割的臨界尺寸進行嚴格控制。AXCELIS/FUSION先進的安全特性G03隨時保證操作員安全,是高風險地區生產的絕佳選擇。綜合安全機器設有溫度監測、冷卻水系統和緊急關閉程序。此外,該機器的設計符合最嚴格的安全規定,為操作員提供安全的工作環境。FUSION G03是一種高效、可靠、可重復的蝕刻器和asher。它是生產各種復雜元件的絕佳選擇,其可靠的自動化工具確保了生產過程的平穩和快速。其堅固的結構和集成的安全系統使其非常適合在當今要求苛刻的半導體生產環境中使用。
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