二手 AXCELIS / FUSION G03 #9187678 待售

AXCELIS/FUSION G03是為生產半導體器件而設計的高性能、中型蝕刻器/asher,效果優異。該設備提供最大的流程靈活性和快速運行時間,並提供高級控制和監控系統,以確保最高級別的質量和響應能力。這款蝕刻器/asher在含有兩種電介質的蝕刻單元中使用氯基化學，可以很容易地針對所需的結果進行優化。FUSION G03提供高級控制組件,其中包括多級工藝監控機和中室晶圓溫度測量。該工具還具有強大的精確清潔資產,包括專用清潔室和環境管理模型（EMS）。這允許用戶控制清潔過程以獲得最佳蝕刻結果。AXCELIS G03還提供了先進的腔室幾何形狀,以實現高長寬比。它還提供了一個獨特的旋轉晶片支架，以確保高度均勻的蝕刻，和一個均勻的加熱選項，以保持均勻的熱條件。此外,該設備的軟件包還具有用於過程控制、批處理順序管理、配方管理等的各種模塊。G03具有許多特點，使其成為生產各種半導體器件的理想選擇。該系統與大多數常見的光刻膠兼容，具有寬敞的氣流能力，具有多種氣體計量配置，能夠精確調整蝕刻工藝。此外，該裝置還提供許多安全功能，包括一個安全的門聯鎖機和多個安全傳感器，以確保安全的工作環境。AXCELIS/FUSION G03是一種可靠、高效的蝕刻器/asher工具,可確保卓越的工作效率和優異的效果。其先進的控制元件、腔室幾何形狀和獨特的旋轉晶片支架使其成為任何半導體生產環境的絕佳選擇。