二手 AXCELIS / FUSION G03 #9187680 待售

ID: 9187680
Dual chamber asher Currently warehoused.
AXCELIS/FUSION G03是為高性能半導體晶圓加工而設計的先進蝕刻器/asher設備。這個先進的系統提供了無與倫比的控制、靈活性和可靠性。該單元非常適合各種蝕刻和灰化應用程序,為用戶提供高級功能。FUSION G03配備了先進的多室設計,允許在同一臺機器中執行多個蝕刻和ashing任務。該工具還配備了高效真空泵,用於精確的過程控制和高吞吐量。資產使用獲得專利的「交鑰匙」技術,以確保性能一致。此外,該型號還配備了雙源電源,以實現最大的靈活性和精確的蝕刻和灰化。AXCELIS G03提供卓越的腔室控制技術,允許用戶精細調整蝕刻和灰度條件.可以對腔室進行編程,以實現既精確又可重復的蝕刻和灰化條件。設備還配備了自動壓力控制系統,用於管理蝕刻和灰化過程的壓力。G03是為滿足最苛刻的蝕刻和灰化要求而設計的。該裝置能夠產生極高的蝕刻速率和高吞吐量,同時仍能保持高水平的過程重復性和過程控制。該機還配備了先進的流程監控和數據記錄功能,允許用戶跟蹤和分析流程結果。最後,AXCELIS/FUSION G03是為最大的操作員安全而設計的,具有多種安全功能,以確保操作安全。總體而言,FUSION G03是一種高級蝕刻和灰化工具,它提供了任何其他資產都無法比擬的性能、靈活性和控制級別。該模型能夠產生較高的蝕刻速率和吞吐量,同時保持較高的過程控制水平。設備還配備了強大的流程監控和數據記錄能力,便於跟蹤和分析流程結果。最後,該系統設計為最大的操作安全性,使其成為各種蝕刻和灰化應用的理想選擇。
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