二手 AXCELIS / FUSION G03 #9261537 待售

AXCELIS/FUSION G03是芯片制造行業中為高通量生產而設計的最先進的蝕刻器/asher設備。該系統設計有一個堅固的機器人處理單元，可以執行各種過程，從多晶矽的深蝕刻到氮化物層的淺蝕刻。機器具有多室配置，允許它以單一序列進行多次蝕刻過程，循環時間為30到4分鐘，具體取決於配方。FUSION G03的核心是其Advanced Mode Synchronized Etch （AMS-E）架構，利用使用智能32位控制器運行軟件的高級計算機控制蝕刻室優化蝕刻配置文件。它具有多個等離子體源,對每個腔室的射頻頻率、等離子體氣體化學和壓力進行獨立控制,從而為各種材料提供優化的蝕刻條件。此外，該工具還設計了一套配方監測、晶圓跟蹤和腔室清潔系統，以確保工藝的一致性和生產質量。特別是,內置的自動化流程控制（APC）資產通過自動晶圓級流程調整監控實時流程,以提高配方的準確性,並減少在生產過程中手動調整配方的需求。該模型還配備了集成視覺設備和高分辨率攝像頭，能夠在蝕刻後對晶片進行完全成像，從而實現晶片級工藝驗證和缺陷查找能力。通過TeraScan WFS190可以通過多個探測器監測傳入晶圓來檢測系統中的粒子水平,從而進一步增強了其檢查能力。總體而言,AXCELIS G03配備了多種業界領先的功能和技術,以確保高效、可靠和高產的芯片生產。它提供了快速的蝕刻速率、卓越的配方精度、工藝一致性、工藝優化和晶片級分析,使芯片制造商能夠最大限度地提高成本效益並增強其競爭優勢。