二手 AXCELIS / FUSION G03 #9261541 待售

AXCELIS/FUSION G03是一種用於半導體工業的高性能電化學蝕刻/等離子體灰化設備。它專為半導體工業中晶圓級和模具級器件的生產而設計。FUSION G03提供了在半導體表面上蝕刻高密度、高精度和高性能特征所需的終極精度和控制。AXCELIS G03是一個高度靈活的系統,在許多不同半導體工藝的成本、靈活性、兼容性和生產率方面具有多種優勢。它設計用於多層光刻防蝕劑掩蔽和圖案設計，並為負片和正片的快速光刻提供選擇。G03內置了可變功率設置,允許精確的蝕刻深度,並且可以針對不同的電阻率進行調整,而RF偏置功率可確保從低電阻率到高電阻率完全蝕刻所有類型的材料。AXCELIS/FUSION G03的設計目的是提供均勻、高質量的蝕刻和灰化效果,從而獲得高產量和卓越的吞吐量。其操作由高性能控制單元控制，其蝕刻工藝可針對不同晶圓和模具尺寸進行調整。FUSION G03配備了用於精密蝕刻的電子可調振蕩器、用於增強可控性的多種內外氣體分配系統，以及便於操作和監控的精密用戶界面。它還提供了多種精密蝕刻配置，包括多層蝕刻和多重掩模策略。AXCELIS G03具有廣泛的安全功能,如自動關機、緊急停止開關、強制通風以及其他旨在保護操作員免受潛在危害的功能。它還包括一個預配置的DMA調度程序和一個用於高效蝕刻操作的內置報警機。總體而言,G03是一種可靠可靠的蝕刻/等離子體灰化工具,可確保精密蝕刻、快速處理和卓越的生產效率。它旨在保持各種基材的高質量蝕刻型材，滿足半導體行業的所有要求。