二手 AXCELIS / FUSION Gemini GES #293654522 待售

AXCELIS Gemini GES是一款專為深亞微米半導體加工而設計的尖端蝕刻器/asher。它提供了前所未有的蝕刻和灰化各種材料基板的能力，包括矽、​​、磷化銨（InP）、砷化​​銨（GaAs）和鈦-矽氧化硝化物（TiSiOX）。Gemini GES是一種高度通用的設備,支持從1xnm到90nm的全套應用程序。AXCELIS Gemini GES基於動態雙室平行板架構，提供出色的溫度和氣體分布穩定性，以及次埃精密控制。它的兩個獨立腔室允許高密度等離子體蝕刻和高分辨率粒子束灰化。該系統能夠處理直徑不超過12英寸的晶片,並具有獲得專利的高通量傳輸機制,可最大限度地提高生產率。Gemini GES還配備了一個強大的安全裝置，可最大限度地提高操作員的安全性和環境合規性。它配備了智能清潔和零臉開源系統等功能，以及對操作員接觸有害物質的持續監控。AXCELIS Gemini GES旨在滿足生產和研發部門的需求，具有出色的工藝重復性和吞吐量。機器使用自動化的工藝配方生成器和直觀的顯示屏，引導用戶完成蝕刻和灰化過程。在硬件方面，該工具能夠執行廣泛的過程，包括蝕刻、蝕刻條和除濕。它裝有多個等離子體蝕刻和灰化室，以及加工氣體和蝕刻劑/剝離器輸送系統，可實現廣泛的應用。Gemini GES還具有功能強大的軟件套件,稱為Process Agent。該軟件提供高級控制功能，如晶圓陣列、線緣粗糙度測量和過程反饋。集成的數據記錄器和專家資產提供快速反饋和數據管理工具,以監測流程趨勢。先進的無接觸腔室模型確保了精確和可重復的等離子體覆蓋，而一個集成的粒子註入腔室提供了對抵抗帶方向和精度的精確控制。AXCELIS Gemini GES是市場領先的蝕刻器/asher,在半導體加工方面提供無與倫比的性能、效率和可靠性。它是現代晶圓制造的重要工具，提供了影響未來設計的能力。