二手 AXCELIS / FUSION Gemini GPL #293757340 待售

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蝕刻機/ 光阻清洗機
製造商
AXCELIS / FUSION
模型
Gemini GPL
ID: 293757340
Plasma asher Dual ashing chamber Coolplate cassette loading station with automatic robot handler Photoresist etching Gases: O2 / N2H2 Endpoint detection Etch uniformity: < 5%.
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