二手 AXCELIS / FUSION Gemini GPL #293757340 待售
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ID: 293757340
Plasma asher
Dual ashing chamber
Coolplate cassette loading station with automatic robot handler
Photoresist etching
Gases: O2 / N2H2
Endpoint detection
Etch uniformity: < 5%.
AXCELIS/FUSION Gemini GPL是一款高級、高性能的蝕刻器/asher。它具有小巧、緊湊的設計,可以手動和全自動模式運行,使其能夠輕松適應大多數生產環境。該機具有先進的運動控制、精密計量和獨特的雙定向氣體噴射設備,可提供更高的蝕刻速率、更緊密的工藝窗口和優化的工藝控制。FUSION Gemini GPL非常適合蝕刻、ashing和其他類型的精密蝕刻操作。它有助於在各種類型的材料上創建圖樣,如矽、砷化氙、磷、藍寶石和石英。AXCELIS Gemini GPL也能蝕刻超細特性,產生高產量率和極低排便。該機配備了多種特性,包括多個溫區、溫度控制以及室內尺寸的選擇。該系統具有用於精確控制過程參數的數字儀表,以及用於處理結果的各種數字顯示選項。基於Linux的控制單元提供了最新的過程監控。Gemini GPL具有多種安全功能,包括防止在蝕刻過程中開門的故障安全鎖定機。還有一個惰性氣體凈化工具,它提供了對易燃氣體和蒸氣的保護。該機還設計有真空資產,可清除加工室內的有毒氣體和蒸氣。綜上所述,AXCELIS/FUSION Gemini GPL是一款高度先進的蝕刻器/asher,在手動或全自動模式下提供高級性能。其先進的運動控制、精密計量和雙方向氣體噴射模型使其成為各種蝕刻操作的理想選擇。其基於Linux的控制設備和安全功能使其安全易用,緊湊的設計使其易於集成到任何生產環境中。
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