二手 AXCELIS / FUSION Gemini GPS #9272582 待售

AXCELIS/FUSION Gemini GPS是一款最先進的蝕刻/灰化機，專為生產高精度、高縱橫比的微電子結構而設計。該工具的一個重要特點是其高蝕刻和灰化分辨率：其均勻的線性蝕刻速率和20微米的結構特征尺寸證明了這一點。FUSION Gemini GPS是先進制造具有高度復雜3-D結構的晶片的理想選擇。AXCELIS GEMINI GPS配備了兩個獨立的腔室，每個腔室都設有一個獨立的8軸機器人，用於精確的晶圓定位和操縱。這種多軸向移動晶片的能力允許可重復定位,從而允許全自動進程運行。此外,多軸運動允許使用多種處理配方,並允許使用諸如傾斜的景觀圖樣等高級技術。AXCELIS/FUSION GEMINI GPS由高性能處理電子封裝驅動。它具有可變的可編程RF/DC電源輸出、最多8軸的全運動控制以及32個用於機器I/O控制的數字輸入和輸出。所有這些功能都允許精確的過程控制,轉化為更高的產量和可預測的性能。FUSION GEMINI GPS有幾個先進的功能來提高其工藝質量。集成的多視覺系統允許自動晶圓對準和檢查,從而確保準確的過程結果。此外，該機采用先進的高精度射頻功率控制和直接驅動交流閥進行動態氣流調節，為工藝環境提供了準確的控制。總之，GEMINI GPS是一種強大可靠的蝕刻/灰分機，專為生產高精度、高縱橫比的微電子結構而設計。其多軸運動、可變RF/DC電源、多視覺、精密的氣體控制允許先進、高產的處理。是先進微電子織物的理想解決方案。