二手 AXCELIS / FUSION Gemini PCU #9258508 待售

AXCELIS/FUSION Gemini PCU，常被稱為FUSION Gemini PCU，是一種利用等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）沈積和蝕刻多種材料的蝕刻和灰化工具。AXCELIS Gemini PCU允許在各種基板上進行高精度蝕刻和灰化。它是半導體工業中蝕刻和灰化的首選，因為它具有很高的分辨率和可重復性。雙子座PCU利用低電壓、高功率的射頻能量在低壓環境下產生幾百瓦的功率。這種環境用於促進蝕刻過程中一層材料的沈積。然後通過將材料通過另一個裝有等離子體的腔室完成蝕刻過程，在該腔室中對材料進行轟擊和蝕刻。這個腔室產生的等離子體由幾個傳感器和其他電子元件監測和控制。蝕刻過程分為兩個階段：初始蝕刻和後蝕刻。初始蝕刻使用偏置電壓蝕刻掉PECVD沈積的材料層。這種材料的蝕刻形狀由蝕刻在基板上的圖案決定。後蝕刻過程使用更高功率的離子束，進一步將圖樣的形狀蝕刻到基板中。這是通過使用制造商開發的校準蝕刻策略來實現的。AXCELIS/FUSION Gemini PCU能夠蝕刻和粉刷銅、鋁、錫、鎢、玻璃、矽等多種材料。這使得它成為涉及復雜蝕刻模式和灰度要求的應用程序的絕佳選擇。它也是高度可重復的，意味著任何給定的基板都會每次保持相同的蝕刻和灰化結果。FUSION Gemini PCU被認為是可靠而強大的蝕刻和灰化工具。它能夠產生高質量、精確和可重復的結果，使其成為半導體行業蝕刻和灰化的理想選擇。它的精確度和可重復性也使得它適用於需要蝕刻和灰化的各種其他應用。