二手 AXCELIS / FUSION Gemini Polo #9398809 待售

AXCELIS/FUSION Gemini Polo是一款緊湊、高通量的蝕刻/asher設備，專為半導體行業的精密應用而設計。它配備了簡單直觀的用戶界面，允許高效、方便的操作。該系統包括自動化、高精度的軸級,提供卓越的精度和可重復性。FUSION Gemini Polo是基材加工的理想選擇，具有先進的蝕刻和灰化能力。AXCELIS Gemini Polo有一個簡單、節省空間的設計，非常適合空間有限的實驗室。它包括一個板載二次電子成像（SEM）單元，用於實時過程監測和控制。機器還包含一個智能自動調諧功能，使它能夠分析和調諧配方以獲得最佳結果。Gemini Polo有一個大型的基於Web的監控工具界面，使得從外部來源控制和監控處理變得容易。強大的蝕刻/asher利用了HiDef等離子體資產，它提供了卓越的均勻性、精確度和可重復性。大型加工室提供250至800mm的腔室尺寸，適合廣泛的工藝應用。AXCELIS/FUSION Gemini Polo也使用了自動壓力控制模型，確保了在所有壓力級別的最佳性能和可重復性。FUSION Gemini Polo具有很高的吞吐量、準確性和可靠性,是晶圓加工應用的理想解決方案,需要更高的蝕刻/灰度精度。設備與強大的硬件和高級軟件工具的兼容性提供了根據特定要求安排和執行流程的靈活性。用戶友好的界面和易於使用的配方編輯器使AXCELIS Gemini Polo成為繁忙實驗室的理想蝕刻/asher。