二手 AXCELIS / FUSION Gemini #293767155 待售
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AXCELIS/FUSION Gemini是FUSION公司的專用蝕刻/灰化工具。它旨在為用戶提供高生產率和精確度的蝕刻和灰化工藝。該系統具有均勻的光束點重叠、最小的非蝕刻汙染和可重復的過程控制。FUSION Gemini的製程室設計為可容納多種基材尺寸和材料，並提供了一個較大的製程區域。AXCELIS Gemini在蝕刻和灰化過程中利用了兩種截然不同的技術，實現了高選擇性、改進了輪廓控制和高化學產量。第一種技術是離子源，一種粒子高度均勻的離子束。這提高了蝕刻工藝的效率,並且產生的蝕刻輪廓比其他蝕刻系統精確得多。第二項技術是脈沖電子束，一種利用高能電子在目標周圍產生強大電場的技術。這場加速了離子並增加了它們的速度，允許更精確和詳細的蝕刻。為了獲得最佳性能和可靠性,Gemini內置了幾個復雜的安全功能。其濺射技術提供了可控的蝕刻速率、光束均勻性、高選擇性和可重復的工藝結果，即使對於蝕刻選擇性最小的材料也是如此。內置溫度控制系統可防止熱漂移,防止特定蝕刻特征受到影響。AXCELIS/FUSION Gemini的軟件控制器使操作員能夠實時訪問氣體、壓力水平、射頻功率、電平熱水平以及其他重要的工藝參數。最後，FUSION Gemini兼容了幾種硬件和軟件解決方案，使其能夠集成到任何現有的生產或實驗室工作流程中。這使操作員能夠準確、精確地控制蝕刻過程，並增加了即時修改參數的能力。AXCELIS Gemini是一款功能強大、可靠的工具，是在半導體、MEMS和RF/微波領域實現工藝的理想選擇。
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